旭正精密

白光干涉儀檢測表面輸出

在測量高密度陶瓷元件的鏡面表面時，WLI 能夠準確捕捉表面微缺陷，如凹陷、刮痕或孔洞。

旭正 Si3N4 / SiC 經過精細拋光至鏡面狀態，利用 WLI 進行掃描分析，結果顯示表面連續且平滑，未發現孔洞或微裂縫。

由於 WLI 的縱向解析度可達 1 nm，橫向解析度亦可達 300 nm，若樣品內部存在孔隙且連通至表面，會在干涉圖中呈現高度變化。

然而，本次測試未見異常，顯示該 Si3N4 / SiC 元件具有極低的孔隙率，材料結構緻密，製程品質優良。

透過白光干涉儀的無損檢測技術，我們能夠量化陶瓷表面的均勻性與完整性，為品質控制與製程優化提供科學依據。結果顯示，此 Si3N4 / SiC 樣品達到了高密度標準，適合作為高性能應用的關鍵材料。